Вакуумна техніка

Вакуумний напилювальний пост SEO-TEC

SEO-TEC призначений для підготовки об'єктів, що досліджуються в електронних мікроскопах, а також отримання багатошарових, багатокомпонентних плівок із металів та напівпровідників магнетронним, резистивним, електронним методами розпилення.

Прилад може використовуватися для досліджень у галузях хімії, фізики, біології, медицини, а також для відпрацювання окремих технологій з вакуумного напилення та травлення у плазмі.

Технічна специфікація
1	Камера	Прямокутна до 0,125 м3
2	Залишковий тиск, Па	13×10-3
3	Випарники	Пристрій випаровування вугілля Резистивний (40 А), магнетронний (0.9 кВ)
4	Температура нагрівання об'єктів	1000 °C
5	Температура столика охолодження	-150 °C
6	Система управління	Від комп'ютера
7	Вакуумна система	Ручний та автоматичний режим відкачування
8	Споживана потужність, кВ	2
9	Витрата води, л/хв	5
10	Габаритні розміри, мм	500 × 900 × 1500
11	Маса, кг	220

Система автоматизованого контролю вакууму SEO-VAC Control

Система забезпечує контроль та управління вакуумною системою будь-якої складності в ручному та автоматичному режимі.

Система дозволяє вимірювати залишковий тиск у різних робочих та технологічних зонах, а також забезпечує аварійне відключення комплексу.

Алгоритм автоуправління програмується на завадозахищеному контролері, який має зв'язок через порт RS 232 з керуючим комп'ютером. Мнемосхема та поточний стан вакуумної системи відображаються на моніторі керуючого ПК.

Використання SEO-VAC Control дозволяє:

• автоматизувати процес відкачування
• вимикання вакуумної системи будь-якої складності
• забезпечити контроль та сигналізацію аварійних режимів
• забезпечити різні режими роботи вакуумної системи

Склад системи:

• Мікроконтролер – 1 шт.
• Вимірювальний блок – 1 шт.
• Комплект з'єднувальних кабелів та вакуумних датчиків – 1 к-т
• Програмне забезпечення – 1 к-т
• Комутуючий блок – 1 шт.

Вимірювачі вакууму SEO-VAC

Вимірювач вакууму SEO-VAC дозволяє:

• автоматизувати процес роботи вакуумного обладнання
• відмовитися від складних незручних графічних градуювальних характеристик
• автоматизувати процес вимірювання тиску та підтримки режимів роботи перетворювачів
• зберігати налаштування каналів блокування при відключенні напруги живлення
• проводити самотестування вакуумметра

Технічні характеристики вимірювача вакууму:

1. Прилад розрахований на живлення від однофазної мережі змінного струму частотою 50 Гц, напругою 220 В.
2. Споживана електрична потужність не більше 65 Вт.
3. Умови експлуатації приладу:
   • температура навколишнього середовища 20±5 °С;
   • відносна вологість до 80% при температурі 25 °С
4. Діапазон вимірювання вакууму від 1×10^-1 мм рт. ст. (торр) до 1×10^-6 мм рт. ст. (торр)
5. Одиниця вимірювання — торр
6. Точність вимірювання — згідно з калібрувальною кривою на датчик

Комплектуючі та матеріали

ВКФ "SEO-TEC" виробляє та постачає:

• Автоматизовані (від ПК) та ручні системи управління вакуумним обладнанням
• Вимірювачі вакууму
• Вакуумні камери та вакуумну арматуру до них
• Натікачі газу
• Вакуумні клапани та заслінки
• Високовакуумні та форвакуумні насоси від будь-яких виробників
• Вакуумовводи та вакуумопроводи
• Вакуумні ущільнювачі та мастила
• Витратні матеріали для процесів напилення