SEO-TEC

Обладнання та технології для електронно-променевої та іонно-плазмової обробки матеріалів

науково-дослідне обладнання "SEO-TEC" (SEO) працює в області створення науково-дослідного обладнання та вакуумної техніки для різних галузей науки і техніки.

Використовуючи сучасну комплектацію, нові технології та власні програмні продукти фірма SEO здійснює наступні види діяльності:

Проектування та виготовлення вакуумних електронно-променевих установок для зварювання та плавки за ТЗ замовника.
Проектування та виготовлення вакуумних установок іонно-плазмового нанесення покриттів різними методами: електронно-променевим (EB-PVD), електро-дуговим (Arc-PVD), магнетронним розпиленням (MS), іонно-променевим (IBAD) за ТЗ замовника.
Проектування та виготовлення вакуумних установок для іонно-плазмового азотування деталей машин. Модернізація промислових установок НШВ-28.7/6-І1, НШВ-9.18/6-І2 та ін.
Проектування та виготовлення вакуумних установок для нанесення оптичних покриттів (просвітлюючих, інтерференційних та ін.).
Модернізація вакуумного іонно-плазмового обладнання (установки електродугового та магнетронного напилення) – Булат-6, Булат-3, ННВ-6.6, МАП-1, ВУ-2М, ВУ-2МБС та ін.
Виготовлення вузлів до вакуумних установок іонно-плазмового нанесення (катодні вузли, магнетрони, іонні джерела, натікачі газів тощо)

Вакуумні установки іонно-плазмового нанесення покриттів забезпечують нанесення функціональних зносо-, жаро-, ерозійно-, кавітаційно- та корозійно-стійких покриттів на деталі машин, нанесення наноструктурних зносостійких покриттів на інструмент: різці, свердла, тому числі і дрібнорозмірні (∅ до 1 мм), пуансони, штампи, плунжера і т.п.

Вироблене вакуумне обладнання проектується і виготовляється у повній відповідності з сучасними вимогами, що пред'являються до промислових вакуумних установок. Це сучасна елементна база і найбільш повна реалізація технологічних можливостей обладнання за рахунок автоматизації техпроцесу.

Здатність підлаштуватися під вимоги замовника – важлива перевага нашої компанії. Ми готові запропонувати рішення, що точно відповідають специфікаціям замовника, включаючи унікальні інженерні розробки.

У наше обладнання можуть бути інтегровані практично будь-які рішення для формування тонких плівок і покриттів, при цьому ми можемо використовувати кращі комплектуючі від лідерів ринку, будь то пристрої автоматизації або вакуумні компоненти. Вибір комплектації – за замовником.

Всі вакуумні установки забезпечені автоматизованою системою управління технологічним процесом (АСУТП), яка пройшла багаторічну промислову відпрацювання в умовах різних серійних виробництв. Це дозволяє вирішувати типові завдання АСУТП - проведення техпроцесу за заданою програмою, діагностика обладнання, відпрацювання аварійних ситуацій, створення та архівація робочих протоколів, а також, працювати і в «ручному режимі».

Застосування цієї системи забезпечує стабільність і повторюваність властивостей і характеристик напилюваних покриттів і азотованих виробів від партії до партії, що відповідають сучасному світовому рівню.

Особливо слід зазначити, що ми самі розробляємо програмне забезпечення для своїх установок. Якщо більшість конкурентів замовляють ПЗ на стороні, що уповільнює його налагодження та доопрацювання і підвищує вартість, то ми завжди комплектуємо обладнання оптимальними за надійністю і функціональністю програмними засобами.

У разі модернізації обладнання, ми виконуємо не просто відновлення, а глибоку модернізацію установок напилення. Застарілі та такі, що виробили ресурс, компоненти замінюються, включаючи електроніку, електротехнічне обладнання, окремі технологічні модулі. Від старої установки залишається, фактично, тільки станина.

Обладнання комплектується сучасним програмним забезпеченням, і за своїми можливостями майже не поступається новим моделям того ж класу, при цьому економія для замовника дуже істотна: вартість відновленого обладнання може бути в 2 - 3 рази нижче, ніж нового з порівнянними характеристиками. На відновлені установки надається гарантія.

Поставка обладнання може включати послуги з навчання персоналу Замовника та технологічного супроводу обладнання.

Нижче в додатку наведена інформація, що ілюструє деякі розробки установок іонно-плазмового та електронно-променевого напилення.

Установка нанесення покриттів SEO–TECH серії МАП

Призначення установки

Установка призначена для нанесення багатокомпозитних конденсованих, дифузійних і конденсовано-дифузійних покриттів на деталях авіаційної техніки.

Область застосування установки: виробничі лінії ремонтного підприємства авіадвигунів і турбін.

Обладнання SEO–TECH модернізованої установки для нанесення покриттів МАП відповідає діючій технічній документації К115, обов'язковим вимогам державних стандартів: «ССБТ. Обладнання виробниче. Загальні вимоги безпеки» ГОСТ 12.2.003-91; «ССБТ. Обладнання виробниче. Загальні ергономічні вимоги» ГОСТ 12.2.049-80.

Технічні характеристики
1	Вхідні параметри електроенергії установки: рід струму напруга номінальна частота струму номінальна споживана потужність, не більше норми якості електричної енергії	змінний трифазний 380 В 50/60 Гц 60 кВт по ГОСТ 13109-97
2	Інверторне джерело живлення дугових випарників: температура охолоджуючої води / протік споживана потужність, не більше номінальний рівень потужності в навантаженні максимальний струм навантаження діапазон зміни струму навантаження	20…25 °С / 10…20 л/хв 35 кВт 30 кВт 1200 А 60…1200 А (з кроком 1 А)
3	Джерело живлення зміщення підкладки: споживана потужність, не більше діапазон регулювання вихідної напруги тип вихідної напруги діапазон регулювання вихідного струму інтерфейс віддаленого управління	11 кВт 20…300 В (з кроком 1 В) імпульсна постійна 0,5…33,33 А (з кроком 0,01 А) RS-485
4	Охолодження (надається замовником)	водяне замкнуте
5	Умови експлуатації: допустима температура в приміщенні максимальна відносна вологість атмосферний тиск	УХЛ 4.1 по ГОСТ 15150-69 в районах з помірним кліматом, в закритих приміщеннях 15…35 °С до 80 % при 25 °С 866,6…1067 мбар
6	Маса установки, не більше	4000 кг
7	Габаритні розміри установки (глибина × ширина × висота), не більше	3000×4000×2700 мм
8	Час досягнення робочого вакууму в вакуумній камері при повторному запуску, не більше	40 хв
9	Робочий тиск у камері, не більше	5×10^-5 мбар
10	Максимальні габарити деталей, що обробляються: діаметр описаного кола вироби довжина вироби	120 мм 150 мм
11	Привод вертикального переміщення катода (нижня і верхня межа регулюється програмно):
	максимальний діапазон переміщення точність позиціонування катода, не гірше	0…300 мм ± 1 мм
12	Механізм обертання виробів, що напилюються:
	кут обертання навколо осі катода швидкість обертання виробів	0…360° 0…2 об/хв (плавно)
13	Кількість одночасно оброблюваних виробів	12, 24, кратно 24 (48 і т. д.)
14	Система управління	комп'ютерна
15	Керуючий комп'ютер	промисловий
16	Програма управління забезпечує: ручний і автоматичний режими роботи вакуумної системи; роботу з різним рівнем доступу до функцій установки (за замовчуванням оператор, адміністратор і обслуговування); діагностику функціонування основних систем установки; відображення мнемосхеми вакуумної системи на екрані монітора; відображення показань датчиків на екрані монітора; відображення органів управління на екрані монітора; блокування роботи установки при зниженні витрати охолоджуючої води нижче заданих мінімальних норм витрати; блокування роботи установки при відключенні живлення; контроль безаварійної роботи установки.
17	Тривалість безперервної роботи, не менше	8 годин
18	Гарантований термін служби (з дня введення в експлуатацію у Замовника)	3 роки

Устрій установки

Для здійснення технологічного процесу нанесення покриттів установка забезпечена:

вакуумною камерою з приводними механізмами;
системою вакуумною;
системою охолодження;
системою пневматичною;
пультом управління;
шафою силовою.

Комплект поставки

Склад установки SEO–TECH серії МАП:
1	Робоча площадка з сходовим маршем	1 шт.
2	Вакуумна камера з приводними механізмами	1 шт.
3	Система вакуумна	1 шт.
4	Пульт управління	1 шт.
5	Шафа силова	1 шт.
6	Шафа живлення	1 шт.
7	Шафа системи охолодження	1 шт.
8	Шафа пневморозподільників	1 шт.
9	Шафа вимірювань системи охолодження	1 шт.
10	Повітряний компресор	1 шт.
В комплект поставки установки входить:
1	Комплект кабелів	1 комплект
2	Комплект пневмошлангів	1 комплект
3	Комплект водяних шлангів з водяним колектором	1 комплект
4	Комплект запасних частин, приладдя	1 комплект
5	Комплект програмного забезпечення	1 комплект
6	Комплект експлуатаційних документів	1 комплект

Вакуумна установка SEO-TEC LАВ

Призначення установки

Установка призначена для проведення напилювальних процесів у вакуумі шляхом термічних випаровувань металів та їх оксидів.

Установка використовується в науково-дослідних лабораторіях і виробничих дільницях з дрібносерійним виробництвом.

Технічні характеристики
1	Робочий об'єм камери	не більше 0.1 м³
2	Робочий тиск у камері	не гірше 5×10^-6 Torr
3	Відкачувальна система	на базі ТМН 300 л/сек
4	Розмір підкладок, що напилюються	50×50×3 мм
5	Розмір масок	50×50×3 мм
6	Живлення від мережі	380 В/50 Гц
7	Споживана потужність	не більше 6 кВт
8	Споживання охолоджуючої води	50 л/год
9	Габаритні розміри, (довжина/ширина/висота)	540×910×1600 мм
10	Маса приладу	350 кг
11	Випарники:
	тип кількість максимальна температура	термічні, вольфрамові (човник, кошик, спіраль) 4 1500 °С
12	Нагрівач:
	температура нагріву підкладки нерівномірність температури по поверхні зразка точність підтримки заданої температури на підкладці	200 - 500 °С не більше ± 10% при 500 °С не гірше ± 10%
13	Пристрій подачі речовини, що випаровується:
	діапазон розміру зерен речовини, що розпилюється розмір ємності для засипки речовини тип приводу швидкість подачі речовини	100-300 мкм не менше 30 мл електромеханічний з вібрацією 100 мм³/хв
14	Контроль товщини напилення	кварцовий товщиномір
15	Система управління	від персонального комп'ютера (ноутбук)

Система управління забезпечує:

УВІМК\ВИМК живлення установки, а також контроль і управління всіма системами та пристроями;
Можливість відкачування вакуумної камери та напуску повітря в ручному та автоматичному режимах;
Контроль та індикацію на моніторі процесу відкачування та вакууму в контрольних точках;
Управління струмом випарників;
Відкр.\Закр. заслінки випарника;
Управління швидкістю подачі в човник речовини, що випаровується;
Управління приводом переміщення підкладки та її позиціонування над обраним випарником;
Управління температурою нагрівачів підкладки.
Контроль та індикацію температури підкладки;
Програмування технологічних режимів, їх запам'ятовування та відтворення;
Ведення протоколу технологічних процесів та їх запам'ятовування з можливістю подальшого перегляду.

До складу установки SEO-TEC входить:

Вакуумна камера
Призначена для проведення технологічного процесу у вакуумі в складі:
- піддон із системою охолодження, термовипарниками, пристроями подачі речовини для випаровування, струмовводами та відкачувальним фланцем;
- середня частина з оглядовим вікном Ø60 мм, маскотримачем, підкладкотримачем, нагрівачем підкладки;
- верхній фланець із механізмом переміщення підкладки, вимірювачем температури підкладки, роз'ємом для введення/виведення електросигналів.
Вакуумна система
На базі турбомолекулярного насоса та сухого форвакуумного насоса типу SCROLL, що забезпечує безмасляне відкачування робочого об'єму.
Підкладкотримач
Являє собою змінний носій, що дозволяє розміщення пластини з габаритами 50×50×3 мм та її швидку заміну. Має пристрій обертання підкладки з механізмом підведення підкладки під випарник (один із 4).
Система нагріву підкладок з нагрівальним елементом
Нагрівальний елемент повинен забезпечувати прогрів зразків до температури не менше 500°С та можливість контролю температури нагрівального елемента під час процесу напилення.
Блок термовипарників
Містить чотири термічні випарники та маскотримач. Кожен випарник має заслінку прямого випаровування з електромеханічним приводом та охолоджуваний екран для запобігання бічним випаровуванням.
Пристрій кріплення масок (маскотримачі)
Дозволяє розміщення 4 пластин (масок) з габаритами 50×50×3 мм. Маски використовуються для формування форм напилюваної структури на підкладці в єдиному технологічному циклі.
Пристрій віброподачі речовини, що розпилюється (гранули)
Містить ємність для засипки речовини та електромеханічний вібруючий привід для подачі речовини з регульованою швидкістю до човника термовипарника.
Блок гермовводів
Складається з герметичного вакуумного фланця, на якому встановлені електричні вакуумні вводи (гермороз'єми) електросигналів у камеру.
Система управління
Включає в себе:
- ПК (ноутбук)
- Блок живлення та управління
- Програмне забезпечення SEO ТЕСН Control (Свідоцтво про реєстрацію авторського права NO 27337) з веденням протоколу технологічних процесів та їх запам'ятовуванням з можливістю подальшого перегляду

Обладнання SEO-TEC-INit для іонного азотування

SEO-TEC-INit - це обладнання для хіміко-термічної обробки з метою значного поліпшення якості деталей машин, інструменту, штампового та ливарного оснащення шляхом надання їм більшої міцності, зносостійкості та довговічності.

Іонне азотування (ІА) може використовуватися на виробництві замість газового азотування, рідинного азотування в соляних ваннах, у деяких випадках замість цементації, а також ТВЧ-загартування. Основні переваги ІА:

скорочення тривалості обробки в 2-5 разів як за рахунок зниження часу нагріву та охолодження садки, так і за рахунок зменшення часу ізотермічної витримки;
скорочення трудомісткості виготовлення виробів через істотне зменшення (або повне виключення) обсягу шліфувальних робіт;
скорочення витрат електроенергії в 1,5-3 рази.

Основними споживачами обладнання та технології іонного азотування є автомобільні, тракторні, суднобудівні та судноремонтні, машино- та верстатобудівні заводи з виробництва сільськогосподарської техніки, насосного та компресорного обладнання, шестерень, підшипників, алюмінієвих профілів, енергетичних установок та ін.

Основні характеристики типових установок:
1	Розміри робочого простору, мм
	діаметр висота	від 600 до 1100 від 800 до 1700
2	Завантаження, кг	від 300 до 2000
3	Робочі гази	N₂, H₂, Ar (СН₄, пропан-бутан) та їх суміші
4	Режим роботи	автоматичний (напівавтоматичний)
5	Площа, що займається установкою	40 м² - 100 м²
6	Максимальний струм розряду	до 150 А
7	Максимальна напруга	до 700 В
8	Тиск у робочій камері	10- 1000 Па
9	Потужність, що споживається від мережі	від 30 до 120 кВА
10	Технологічна програма	забезпечує процес відкачування, очищення, нагріву та режиму

Режим азотування триває 0.1 - 20 годин залежно від конструкторсько-технологічних вимог та експлуатаційних властивостей виробів, що зміцнюються.

По закінченню ізотермічного насичення деталі остигають у розрідженій атмосфері робочого або інертного газу. У разі потреби можна проводити повільне охолодження в плазмі зі зменшеною потужністю. При досягненні температури 150 °C камера відкривається і деталі охолоджуються.

Технологічний процес повністю автоматизований. Регулювання всіх основних параметрів процесу здійснюється головним контролером. У разі аварії, наприклад, короткого замикання в камері, підвищеної температури стінки камери або витрачання робочого газу тощо, контролер зупинить процес і ввімкне світловий та звуковий сигнал.

Основні переваги іонного азотування

Переваги іонного азотування порівняно з традиційним газовим азотуванням:

Процес екологічно чистий, безвідходний і відповідає всім санітарно-гігієнічним вимогам;
Різке зниження собівартості за рахунок скорочення електроенергії в 2-4 рази, робочих газів у 50-100 разів, часу обробки в 3-10 разів;
Регульована будова та оптимізація властивостей азотованих покриттів, що мають вищу твердість, зносостійкість та антикорозійність;
Розширений діапазон температур насичення ( 450-600°С );
Краща якість шару за рахунок зниження крихкості, рівномірного розвитку та відсутності мікродефектів;
Мінімальна зміна розмірів та збереження вихідної чистоти поверхні, що виключає додаткову мехобробку азотованих деталей;
Виключається необхідність попередньої депасивації деталей із нержавіючих сталей;
Прості та дешеві способи захисту деталей при місцевому азотуванні;
Висока відтворюваність та стабільність процесу та його повна автоматизація управління та контролю;
Можливість отримання тільки дифузійного зміцненого шару, без нітридної зони для різального та штампового інструменту та деталей, що працюють при знакозмінних навантаженнях в умовах зношування при високих тисках;
Залежно від цілей обробки можливе отримання шару з монофазним нітридом Fe₄N (γ’-фаза) або шару з монофазним нітридом Fe₂-3N (ε-фаза), що забезпечують високу опірність корозії та припрацьовуваність поверхонь тертя для деталей, що працюють на знос.

ВКФ "SEO-TEC" здійснює проектування, виготовлення та поставку установок іонного азотування (ІА) для зміцнення сталевих, чавунних та титанових деталей методом імпульсного іонного азотування.

Для реалізації процесу зміцнювальної обробки деталей шляхом ІА нами розроблено ряд моделей установок ІА, що задовольняють різноманітні запити наших клієнтів і забезпечують повну автоматизацію процесу формування азотованого шару шляхом програмного управління параметрами процесу.

Основу установки ІА складають робоча камера, газо-вакуумний блок, стійка управління та живлення.

Марка сталі	Твердість серцевини HRC	Температура процесу °С	Характеристики азотованого шару
Характеристики деяких легованих сталей після азотування
Марка сталі	Твердість серцевини HRC	Температура процесу °С	Глибина, мм	Поверхнева твердість, HV	Товщина нітридного шару, мкм
Сталі для гарячої обробки
4Х5МФС	35-55	500-560	0,1-0,3	900-1100	2-6
5ХНМ	35-55	450-550	0,1-0,3	620-760	2-6
3Х3М3Ф	35-51	500-560	0,1-0,3	900-1100	2-6
Сталі для холодної обробки
Х12	50-55	450-520	0,1-0,2	1000-1100	-
Х12М	53-60	400-530	0,1-0,2	1000-1100	-
Х12МФ	56-58	400-480	0,1-0,2	1000-1300	-

Установка вакуумна SEO-EB TEC

Установка призначена для нанесення покриття на оптичні поверхні методом резистивного та електронно-променевого випаровування діелектриків, напівпровідників та металів з одночасним контролем товщини покриття.

Установка забезпечує можливість нанесення багатошарових ахроматичних покриттів на оптичних деталях, а також металевих, одношарових просвітлюючих, інтерференційних дзеркальних, фільтруючих та інших для різних областей спектра.

Установка складається з: робочої камери, відкачувального поста на базі ТМН, форвакуумного агрегату, електрообладнання для живлення та управління вакуумною системою та технологічними системами.

Технічна специфікація
1	Тиск у камері, мм.рт.ст.	5×10^-6
2	Час досягнення вакууму, хв, не більше	20
3	Температура нагріву в камері, °С	100 - 320
4	Кількість резистивних випарників, шт.	2
5	Кількість електронно-променевих випарників, шт.	1
6	Кількість тримачів підкладок, шт.	4
7	Максимальний розмір підкладок, мм	50 × 50
8	Напруга плазмового очищення, кВ	7
9	Струм резистивних випарників, А, при 24 В	150
10	Струм електронно-променевого випарника, мА	500
11	Потужність, що споживається установкою, кВт	20
12	Система управління	Від промислового комп'ютера

Вакуумна установка серії SEO-ТЕС MS

Вакуумна установка для нанесення багатофункціональних нанокомпозитних покриттів зі сплавів Zr, Ti, Cr методом реактивного осадження при магнетронному розпиленні в режимі DC/PULSE

Установка SEO-ТЕС MS призначена для нанесення захисних та функціональних покриттів товщиною 10-25 мкм з багатокомпонентних матеріалів, включаючи спеціальні сплави або нанокристалічні композити, а також металеві, оксидні, нітридні, карбідні та інші типи покриттів на вироби різного призначення, виготовлені зі сталей та титанових сплавів, зокрема лопатки ГТД.

Програмне забезпечення з функціями:

автоматичний режим відкачування;
ручний режим відкачування;
відображення мнемосхеми режимів роботи та всіх параметрів системи управління установки на екрані монітора;
програмування режимів напилення та їх відтворення;
блокування роботи установки при виникненні аварійних ситуацій та некоректній роботі систем установки.

Технічна специфікація
1	Живильна мережа:	380V / 50Hz (60Hz)
2	Потужність, що споживається установкою, kVA, не більше	60
3	Охолодження	водяне замкнуте, стаціонарне
4	Маса установки, kg, не більше	2000
5	Габаритні розміри: (довжина, ширина, висота), mm, не більше	2800 × 3500 × 2100
6	Час досягнення робочого вакууму, min, не більше	20
7	Система розпилення	магнетронна
7.1	Тип магнетронів:	з гарячою мішенню; незбалансований; збалансований;
8	Іонне джерело:	багатоосередкове
	- робочий газ - довжина очищення деталей, mm - установка джерела	аргон 200 зовнішня
9	Система електроживлення
9.1	Система електроживлення магнетронів:
	- максимальна споживана потужність 1 каналу, kW - вхідна напруга, V - вихідний струм, A - режим роботи - частота, kHz	13,6 65 - 650 0,1 - 18,5 DC, PULSE 1 - 100
9.2	Блок живлення іонного джерела:
	- мережа живлення: - максимальна вихідна потужність, kW - максимальний вихідний струм, A	трифазна 2 1,0
10	Система напуску газу	3 незалежних канали (H₂; C₂H₂; Ar)
11	Карусельний пристрій:	планетарного типу
	- швидкість обертання каруселі навколо своєї осі, 1/min - швидкість обертання сателітів навколо своєї осі, 1/min - кількість механізмів кріплення деталей, шт.	0 - 10 0 - 10 16
12	Блок живлення потенціалу зміщення:
	- вихідна потужність, kW - вихідна напруга, V - режим роботи	0,1 - 6,0 10 - 300 DC, PULSE
13	Нагрівач	резистивний
	- температура нагріву виробу, до °C	500
14	Керовані захисні екрани	для магнетронних розпилювачів
15	Керуючий комп'ютер	моноблок із сенсорним 17″ монітором
	- операційна система	Windows 7/32
16	Програмне забезпечення	SEO ТЕСН Control (Св-во реєстрації авторського права № 27337)

Установка серії SEO-EBPVD TEC для нанесення керамічних покриттів

Електронно-променева установка SEO-EBPVD ТЕС призначена для нанесення керамічних шарів теплозахисних покриттів (ТЗП) для захисту від високотемпературної газової корозії лопаток ротора турбін ГПД зі стабілізованого діоксиду цирконію.

Такі покриття дозволяють збільшити ресурс лопаток у 3-5 разів. Область застосування установки: лабораторії та виробничі дільниці іонно-плазмових та газотермічних покриттів.

До складу установки входять:

Водоохолоджувана камера у складі:

модуль завантаження з механізмом переміщення зразків
модуль нагріву з нагрівачем резистивного типу (можливий нагрів гарматою) та системою контролю температури
модуль напилення з механізмом обертання зразків, тиглем та механізмом подачі штабика, що випаровується

Вакуумна система на базі дифузійного паромасляного насоса
Електронно-променева гармата
Стробоскопічне оглядове вікно
Шафа керування з високовольтним джерелом живлення гармати
Система охолодження камери, тигля та гармати
Пневмосистема для забезпечення роботи приводу подачі зразків та елементів вакуумної системи
Система подачі газів

Програма керування забезпечує:

автоматичний та ручний режим керування вакуумною системою;
відображення мнемосхеми вакуумної системи на екрані монітора;
програмування та відтворення режимів напилення;
контроль безаварійної роботи установки

Технічна специфікація
1	Мережа живлення	380 V, 50/60 Hz , трифазна
2	Споживана потужність, kV A, не більше	35
3	Охолодження установки	стаціонарна станція охолодження
4	Маса установки, kg, не більше	11000
5	Габаритні розміри установки (довжина, ширина, висота), mm	4000 × 2000 × 2000
6	Вакуумна система	двоступенева на базі дифузійного паромасляного насоса
7	Робочий тиск у модулі напилення, Тоrг mmH, не більше:	1×10³ - 1×10⁴
8	Температура попереднього нагріву виробів, °С	950±50
9	Система напуску газу	2 канали (O₂, Аг)
10	Тигель для випаровування	водоохолоджуваний під штабик 40мм
11	11. Переміщення штабика в тиглі по вертикальній осі, mm	від 150
12	Візуалізація та спостереження за процесом випаровування	стробоскопічне, оглядове вікно
13	Електронно-променева гармата	газорозрядна з холодним катодом
	- потужність електронного променя, kW - прискорююча напруга, kV - частота розгортки електронного променя, Hz, не більше - форма розгортки	від 20 від 20 100 спіралеподібна концентрична
14	Система керування установки	комп'ютерна
15	Програмне забезпечення	SEO ТЕСН Control (Св-во реєстрації авторського права № 27337)

Вакуумна установка серії SEO-ТЕС ArcPVD/MS іонно-плазмового напилення

Вакуумна установка серії SEO-TEC ArcPVD/MS призначена для нанесення захисних та функціональних покриттів товщиною 0.5-50 мкм з багатокомпонентних матеріалів, включаючи спеціальні сплави або нанокристалічні композити, а також металеві, оксидні, нітридні, карбідні, карбонітридні, оксикарбідні та ін. типи покриттів з використанням дуальних магнетронних та дугових випарників.

ОБЛАСТЬ ЗАСТОСУВАННЯ УСТАНОВКИ: лабораторії вакуумного напилення дослідницьких та виробничих підприємств.

До складу установки входять:

Технологічна стійка:

стійка живлення;
розподільна система подачі води;
вакуумна камера;
блок іонного очищення;
дуальні магнетрони;
дуальні дугові випарники;
нагрівач;
карусель;
затвор дисковий;
турбомолекулярний насос;
пневматичні клапани форлінії;
вакуумні датчики;
система напуску газів.

Стійка системи керування
Вакуумний відкачний пост
Пневмосистема

Програма керування забезпечує:

автоматичний та ручний режим керування вакуумною системою;
відображення мнемосхеми вакуумної системи на екрані монітора;
відображення показань датчиків на екрані монітора;
відображення органів керування на екрані монітора;
незалежне керування струмами випарників;
незалежне керування Відкр/Закр екранами випарників;
незалежне керування температурою нагрівача;
незалежна зміна температури (нагрівача)
програмування та відтворення режимів напилення;
блокування роботи установки при аварійних ситуаціях.

Технічна специфікація
1	Живильна мережа:	380V/50Hz трифазна
2	Потужність, що споживається установкою, kVA, не більше	25
3	Маса установки, kg, не більше	648
4	Габаритні розміри: (довжина, ширина, висота), mm, не більше	2000 × 2000 × 1800
5	Час досягнення робочого вакууму, min, не більше	20
6	Системи розпилення:
	6.1 Магнетронна: кількість магнетронів тип магнетрона режим роботи магнетронів діаметр/товщина катода, mm	2 дуальних збалансований/незбалансований DC/PULSE 95/8,5
	6.2 Вакуумно-дугова: кількість розпилювачів	2 дуальних
7	Іонне джерело:	багатокоміркове (22 іонних пучки)
	робоча зона, mm	400
8	Системи електропитання:
	8.1 Система електроживлення магнетронів: вихідна потужність 1 каналу, max, kW вихідна напруга, V вихідний струм, A режим роботи частота, kHz амплітуда підпалу, V	10 70 - 700 0,1 - 16 DC, PULSE 1 - 100 1000
	8.2 Система електроживлення дугових випарників: вихідний струм 1 каналу, А вихідна напруга, V напруга холостого ходу, V регулювання	4 інверторні блоки 90 - 150 90 100 за струмом
	8.3 Блоки живлення іонного джерела: максимальна вихідна потужність, kW вихідна напруга, V максимальний вихідний струм, A	2 400 - 5000 1,5
9	Система напуску газів	3 канали
	подача газу в каналах контрольований рівень натікання, Torr*l/s максимальний пропускний потік, l/min	незалежна 10 6
10	Карусельний пристрій:	планетарного типу
	діаметр каруселі, mm швидкість обертання навколо центральної осі каруселі, 1/min кількість механізмів кріплення деталей, шт.	180 1 - 10 6
11	Блок живлення потенціалу зміщення:
	діапазон регулювання напруги, V максимальний струм, A	10 - 1000 7
12	Нагрівач:	резистивний
	максимальна температура нагріву, °C	560
13	Керовані захисні екрани для:	магнетронних розпилювачів дугових розпилювачів іонного джерела
14	Керуючий комп'ютер:	Моноблок Advantech з 17″ монітором
15	Програмне забезпечення	SEO ТЕСН Control (Свід-во реєстрації авторського права № 27337)